Coherent AZURE NX 深紫外光激光器
紧凑型下一代固态激光器在平台中提供低噪声、266&苍产蝉辫;苍尘&苍产蝉辫;连续波,采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。&苍产蝉辫;
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Product Details
紧凑型下一代固态激光器在平台中提供低噪声、266 nm 连续波,采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。
Coherent Azure NX 具有单频操作和绝对波长稳定功能。 它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄线宽和全天候可靠性,适用于要求严苛的应用。
| 型号名称 | 输出功率 (W) | 线宽 (kHz) | 指向(主动稳定型)(耻谤补诲) | M2 |
RMS 噪声 (%) (10 Hz 至 500 MHz) |
| Azure NX 266-1000 | 1 | < 500 | 20 | < 1.3 | < 0.5 |
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