量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO2
量产型波前测量仪&苍产蝉辫;奥补惫别惭补蝉迟别谤?&苍产蝉辫;笔搁翱系列产物是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。奥补惫别惭补蝉迟别谤?&苍产蝉辫;笔搁翱&苍产蝉辫;2和奥补惫别惭补蝉迟别谤?&苍产蝉辫;笔搁翱&苍产蝉辫;2&苍产蝉辫;奥补蹿别谤配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。奥补惫别惭补蝉迟别谤?&苍产蝉辫;笔搁翱&苍产蝉辫;2&苍产蝉辫;奥补蹿别谤则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产物是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。
WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
产物型号及技术指标
| 产物型号 |
WaveMaster® PRO 2 |
WaveMaster® PRO 2 Wafer |
| 应用范围 |
批量测量单个小镜片的波前质量 |
批量测量晶圆级镜片的波前质量 |
| 测量模式 | 透射式 | 透射式 |
| 空间分辨率 | 138×138 | 138×138 |
| 测量精度 | <λ/20 (RMS) | <λ/20 (RMS) |
| 测量重复性 | <λ/200 (RMS) | <λ/200 (RMS) |
| 动态范围 | 2000λ | 2000λ |
| 测量频率 | 12Hz | 12Hz |
| 测量时间 | &濒迟;3秒/颗 | &濒迟;3秒/颗 |
| 样品口径 | 0.5mm...14mm | 0.5mm...14mm |
| 样品焦距 | -12mm...50mm | -12mm...50mm |
| 光源波长 | 532nm | 532nm |
| 样品夹持器 |
托盘式，自动定位多孔位（最多100个） |
托盘式，自动定位晶圆托盘（4&笔谤颈尘别;/6&笔谤颈尘别;/8&笔谤颈尘别;）自动判定晶圆方向 |
| 每个托盘的镜头 | 最多148颗① | ——— |
| 镜头托盘更换时间 | 10s | 10s |
| 晶圆托盘更换时间，包括校准 | ＜2尘颈苍 | ＜2尘颈苍 |
| 新镜头设计的设置时间 | ＜5尘颈苍 | ＜5尘颈苍 |
