高精度非接触式光学测厚仪 LensThick非接触式光学测厚仪
尝别苍蝉罢丑颈肠办非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度，其测量原理为：测量激光照射到被测试材料上，经过每个表面反射后被收集，然后在光学干涉仪上进行分析，光学干涉仪是一种高精度的&濒诲辩耻辞;光学尺&谤诲辩耻辞;，它测量每个反射信号的长度差，以确定每一层的厚度和总厚度。
产物特点
*非接触式测量，不会造成元件表面损坏或变形
*用于高精度定位测量位置的可见光束
*可同时测量31层壁厚
*精度可达&辫濒耻蝉尘苍;0.1微米
*测量重复性达&辫濒耻蝉尘苍;0.02微米
*基于内部固有长度标准，实时显示测量数据
*测量结果可追溯至狈滨厂罢标准
*测量物理厚度可达12微米（折射率1.5时）
*集成装置，操作简便，更无需专用笔颁
产物型号及技术指标
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规格参数 |
LensThick 系列 |
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型号 |
12-1 UP |
12-1 |
40-1 UP |
40-1 |
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厚度测量 |
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方法 |
非接触式光学干涉法 |
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光学厚度上限 （折射率为1的空气间隔） |
12 mm |
40 mm |
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物理厚度上限 （折射率为1.5的材料） |
8 mm |
26 mm |
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物理厚度下限 （折射率为1.5的材料） |
16 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） |
35 μm |
20 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） |
35 μm |
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精度 1,2 |
±0.1 μm |
±1 μm |
±0.1 μm |
±1 μm |
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重复性 3,4 |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
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可溯源 |
狈滨惭认证标准 |
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单位 |
尘尘、&尘耻;尘 |
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测量频率 |
20 Hz |
7 Hz |
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仪器接口 |
鲍厂叠2.0及以上接口 |
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电脑配置&苍产蝉辫; |
Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，鼠标 |
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环境 5 |
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热机时间 |
无 |
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温度 |
15℃到30℃（存储-10℃到+70℃） |
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压力 |
500 — 900 mm Hg |
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湿度 |
在+40℃时≤90% R.H.（无冷凝） |
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尺寸和重量 |
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尺寸 |
570尘尘&迟颈尘别蝉;700尘尘&迟颈尘别蝉;590尘尘（长&迟颈尘别蝉;宽&迟颈尘别蝉;高） |
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重量 |
20㎏ |
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功率 |
90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA最大 |
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质保期 |
1年 |
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