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M350 基于机床载体的抛光系统
可加工平面、球面、柱面、非球面、离轴非球面、自由曲面等元件,加工材料包括金属、玻璃、晶体、红外材料、&苍产蝉辫;宝石等。加工精度&苍产蝉辫;谤尘蝉<5nm，表面粗糙度≤2nm。
RP1000 基于机械臂载体的抛光系统
可加工平面、球面、柱面、非球面、离轴非球面、&苍产蝉辫;自由曲面等元件，加工材料包括金属玻璃、晶体、&苍产蝉辫;红外材料、&苍产蝉辫;宝石等。加工精度&苍产蝉辫;谤尘蝉<20nm，平面加工表面粗糙度≤2nm。
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